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Petri net modeling and deadlock analysis of multicluster tools in semiconductor manufacturing
  • ISSN号：1001-0505
  • 期刊名称：Dongnan Daxue Xuebao (ziran Kexue Ban)/journal of
  • 时间：0
  • 页码：267-271
  • 相关项目：半导体芯片制造中组合设备的实时调度和运行控制优化
作者： Zhu, Qinghua1, 2|Wu, Naiqi1|Teng, Shaohua2|
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期刊信息
  • 《东南大学学报：自然科学版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:教育部
  • 主办单位:东南大学
  • 主编：毛善锋
  • 地址：南京四牌楼2号
  • 邮编：210096
  • 邮箱：xuebao@seu.edu.cn
  • 电话：025-83794323
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-0505
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1178/N
  • 邮发代号:28-15
  • 获奖情况:
  • 先后荣获第三届国家期刊奖百种重点期刊奖，2006-2...,2013年荣获首届江苏省新闻出版政府奖"报刊奖"
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,美国数学评论（网络版）,德国数学文摘,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:23651