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Thermal time constant of a terminating type MEMS microwave power sensor
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：Journal of Semiconductors
  • 时间：0
  • 页码：104006-1-104006-4
  • 语言：中文
  • 分类：TN248.4[电子电信—物理电子学] TP212[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构：[1]Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University, Nanjing 210096, China
  • 相关基金：Project supported by the National Natural Science Foundation of China （No. 60676043） and the National High Technology Research and Development Program of China （No. 2007AA04Z328）.
  • 相关项目：在线式MEMS微波功率传感器设计理论与实现方法的研究
作者： Xu, Yinglin|Liao, Xiaoping|
关键词： 热时间常数, 功率传感器, 微波单片, MEMS, 集成电路工艺, 恒定频率, 塞贝克效应, 电热模型, MEMS, thermal time constant, microwave power, electrothermal model
中文摘要：

Corresponding author. Email： xpliao@seu.edu.cn

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期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754