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A micromachined inline-type wideband microwave power sensor based on GaAs MMIC technology
  • ISSN号:1057-7157
  • 期刊名称:Journal of Microelectromechanical Systems
  • 时间:0
  • 页码:705-714
  • 语言:英文
  • 相关项目:在线式MEMS微波功率传感器设计理论与实现方法的研究
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