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Local Piezoelectricity and Polarity Distribution of Preferred c-Axis-Oriented ZnO Film Investigated
  • ISSN号:0361-5235
  • 期刊名称:Journal of Electronic Materials
  • 时间:0
  • 页码:253-258
  • 相关项目:高频、高Q值、高稳定性SAW谐振器多层膜材料研究
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