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超导量子比特中铝超导隧道结的性能
  • 期刊名称：科学通报
  • 时间：0
  • 页码：2923-2927
  • 语言：中文
  • 分类：TN362[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]南京大学电子科学与工程学院,超导电子学研究所,南京210093
  • 相关基金：国家重点基础研究发展计划（2011CBA00107,2009CB929602）、国家自然科学基金（10874074,61027008）和教育部博士基金（200802840031）资助项目
  • 相关项目：超导量子比特设计、制备与宏观量子特性研究
作者： 陈健|曹春海|常俊杰|吉争鸣|孙国柱|沈丹丹|朱冉|许伟伟|
关键词： Al/Al2O3/Al超导, 隧道结, 电子束蒸发, 超导量子比特
中文摘要：

超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc（正常态电阻RN与结面积的乘积）与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求.

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