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W-Ti纳米晶薄膜扩散阻挡层的热稳定性研究
  • ISSN号:1674-7259
  • 期刊名称:中国科学:技术科学
  • 时间:0
  • 页码:298-305
  • 相关项目:熔渗材料相控制基础及应用
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