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Fabrication of vertically stacked single-crystalline Si nanowires using self-limiting oxidation
  • ISSN号:0141-6359
  • 期刊名称:Precision Engineering-Journal of the International
  • 时间:2012.1.1
  • 页码:015307-015307
  • 相关项目:基于硅基一维纳米线的Gate-all-around纳米晶体管的研究
作者: 汪涛|
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