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微透镜集成基横模大功率垂直腔面发射激光器
  • 项目名称：微透镜集成基横模大功率垂直腔面发射激光器
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：60676034
  • 申请代码：F040302
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2007-01-01-2009-12-31
  • 项目负责人：宁永强
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 批准年度：2006
中文摘要：

本项目研究大直径（20-100微米）微透镜集成基横模工作大功率垂直腔面发射激光器。主要内容包括周期增益多量子阱有源区材料结构设计、器件光输出特性和电特性的模拟、近场光学及远场光学特性、横模特性分析等。研究不同出光孔径、不同的电流限制孔径及不同的电流注入结构情况下，量子阱有源区内载流子浓度分布、光增益分布及对横模特性的影响。对器件基横模工作的机理进行深入研究，采用小p面注入电极实现基横模的匹配，以具有一定反射率的衬底面出光窗口为腔镜，与p-DBR和n-DBR共同构成单片集成的三镜腔结构，采用BCB作为微透镜材料，通过光刻、刻蚀等平面工艺制作梯度折射率分布的集成微透镜，研制出集成微透镜的垂直腔面发射激光器。根据不同器件直径实现连续50-500mW的基模大功率输出，促进其在激光投影显示、空间光通讯、大规模并行光互连、单模光纤数据传输、光谱成像等的应用。

中文主题词： 基横模;大功率;垂直腔面发射激光器;微透镜集成
结论摘要：

英文主题词fundamental transversal mode; high power; VCSEL; micro-lens integrated

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 49
  • 16
  • 8
  • 4
  • 0
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