Diffraction wavefront analysis of point diffraction interferometer for measurement of aspherical sur
- 所属机构名称:西安交通大学
- 会议名称:5th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Optical Test
- 时间:2010.10.10
- 成果类型:会议
- 相关项目:纳米制造中的计量溯源与测试理论研究