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MOCVD生长的GaN基LED的应力分析（英文）
  • ISSN号：1000-985X
  • 期刊名称：人工晶体学报
  • 时间：2015
  • 页码：3811-3815
  • 期号：12
  • 便笺：11-2637/O7
  • 分类：TN312.8[电子电信—物理电子学]
  • 作者地址：山东大学晶体材料国家重点实验室;山东浪潮华光光电子股份有限公司;
  • 作者机构：山东大学晶体材料国家重点实验室, 山东浪潮华光光电子股份有限公司
  • 相关基金：Natural Science Foundation of China under Grant(11134006);Shandong University Natural Science Special(2014QY005);863 Program(2015AA033302)
作者： 张恒;曲爽;王成新;胡小波;徐现刚;
关键词： 氮化镓, 金属有机化学气相沉积法, 翘曲度
中文摘要：

使用金属有机化学气相沉积法在c轴蓝宝石衬底上制作了GaN基LED。研究了外延层厚度和n型层的生长速率对整个外延弯曲度、翘曲度及应力的影响。光致发光(PL)光谱、FM100及拉曼(Raman)用于表征样品的特性。结果表明通过减薄外延层的厚度和降低n型层的生长速率,弯曲度、翘曲度及应力均得到有效的降低。与此同时,外延片的波长均匀性得到了进一步的提高。

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编：余明清
  • 地址：北京市733信箱
  • 邮编：100018
  • 邮箱：
  • 电话：010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-985X
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:9943