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An inverse Prandtl-Ishlinskii model based decoupling control methodology for a 3-DOF flexure-based m
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间:2015.7.1
  • 页码:52-62
  • 相关项目:大行程微/纳表面测量与表征系统及其关键技术
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