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Design and control methodology of a 3-DOF flexure-based mechanism for micro/nano-positioning
  • ISSN号:0736-5845
  • 期刊名称:Robotics and Computer-Integrated Manufacturing
  • 时间:2015.4
  • 页码:93-105
  • 相关项目:大行程微/纳表面测量与表征系统及其关键技术
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