位置:成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
A novel voice coil motor-driven compliant micropositioning stage based on flexure mechanism
  • ISSN号:0034-6748
  • 期刊名称:Review of Scientific Instruments
  • 时间:2015.9
  • 页码:-
  • 相关项目:大行程微/纳表面测量与表征系统及其关键技术
同期刊论文项目
同项目期刊论文