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Electrical matching of low power piezoelectric ultrasonic transducers for microelectronic bonding
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间:2013.9.1
  • 页码:241-249
  • 相关项目:大行程微/纳表面测量与表征系统及其关键技术
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