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表面波方法表征纳米多孔SiO2薄膜
  • 期刊名称：纳米技术与精密工程, 3(2), pp. 122-125, (2005).
  • 时间：0
  • 相关项目：表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性
作者： 肖夏、张鑫慧、姚素英
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