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LSAWs测量low-k介质薄膜杨氏模量
  • 期刊名称：天津大学学报，40(5), pp.554~558, (2007).
  • 时间：0
  • 相关项目：表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性
作者： 肖 夏、白茂森、李志国、姚素英
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