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表面波表征ULSI互连布线双层薄膜
  • 期刊名称：电子学报, 34(5), 774-777, (2006).
  • 时间：0
  • 相关项目：表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性
作者： 肖夏、姚素英、阮刚
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