位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
A Model for Mechanical Propert
  • 时间：0
  • 相关项目：表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性
作者： 李志国、姚素英、肖夏*、白茂森
同期刊论文项目
表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性
期刊论文 16 会议论文 7
同项目期刊论文
The determination for the adhe
表征ULSI低介电常数互连材料机械
LSAWs测量low-k介质薄膜杨氏模量
The Influence of the Interconn
表征ULSI互连纳米薄膜硬度特性的
基于表面波技术的纳米多孔介电常
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜
Numerical study on surface aco
Theoretical Analysis of Young'
表面波方法表征纳米多孔SiO2薄膜
Extraction of the ULSI Interco
Theoretical Study of Mechanica
表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性
周期性多孔低介电常数材料机械特性的表面波测量模型
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算