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基于实例和设计目录的微器件原理
  • 期刊名称：《计算机集成制造系统》，第11卷，第7期，pp953-958, 1006, 2005.
  • 时间：0
  • 相关项目：硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
作者： 闫向彤, 江平宇
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硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
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