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基于微元件键合图库的微机电系统
  • 期刊名称：《西安交通大学学报》，第39卷，第7期，pp744-748, 2005.
  • 时间：0
  • 相关项目：硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
作者： 刘旸, 江平宇, 刘峥
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