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基于虚拟原型的微器件动态特性分
  • 期刊名称：《系统仿真学报》，第16卷，第2期，pp316-318, 332, 2004.
  • 时间：0
  • 相关项目：硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
作者： 龚晓燕, 江平宇
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硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
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