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基于多元技术的微型泵综合优化设
  • 期刊名称：《计算机集成制造系统》，第11卷，第9期，pp1208-1211, 1222, 2005.
  • 时间：0
  • 相关项目：硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
作者： 龚晓燕, 江平宇
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硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
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