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微器件设计的优化决策规则获取方
  • 期刊名称：《计算机辅助设计与图形学学报》，第17卷，第8期，pp1731-1735, 2005.
  • 时间：0
  • 相关项目：硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
作者： 龚晓燕, 江平宇
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硅基微器件加工工艺建模、规划及制造仿真理论与方法研究
期刊论文 13 会议论文 1
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