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飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究
  • ISSN号：1003-8213
  • 期刊名称：《微细加工技术》
  • 时间：0
  • 分类：TN24[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]北京工业大学,激光工程研究院,中国国家产学研激光技术中心,北京,100022 北京工业大学,激光工程研究院,中国国家产学研激光技术中心,北京,100022 北京工业大学,激光工程研究院,中国国家产学研激光技术中心,北京,100022 北京工业大学,激光工程研究院,中国国家产学研激光技术中心,北京,100022
  • 相关基金：国家自然科学基金重点资助项目(50335050);北京市属市管高等学校人才强教计划资助项目
作者： 刘勋[1], 陈涛[1], 刘世炳[1], 左铁钏[1]
关键词： 飞秒激光, 微细加工, 黄铜, 铝合金, 不锈钢
中文摘要：

利用飞秒激光对H62黄铜、lCr18Ni9Ti奥氏体不锈钢和7075铝合金进行加工,研究了激光参数和试验条件对三种合金材料的微细加工效果的影响.试验研究内容包括脉冲扫描速率与刻蚀宽度和深度的关系、入射脉冲数量与刻蚀宽度以及刻蚀效率的关系.运用扫描电子显微镜和激光共焦扫描显微镜对试验结果进行分析,发现对于三种合金材料而言,入射的脉冲数量达到某值后,刻蚀宽度基本保持恒定;黄铜和不锈钢的通道宽度与深度会随着激光扫描速率的提高而降低;飞秒激光可以对黄铜与不锈钢实现冷加工,单个脉冲的刻蚀率分别为102.4 nm和39.83 nm,是比较理想的微加工手段.

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期刊信息
  • 《微细加工技术》
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主编：伍三忠
  • 地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）
  • 邮编：410111
  • 邮箱：
  • 电话：0731-2891478
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-8213
  • 国内统一刊号：ISSN：43-1140/TN
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  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,国家一级检索刊物用刊
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  • 荷兰文摘与引文数据库
  • 被引量:1695