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H-800透射电镜的修复和与离子注入机及串列加速器联机
  • ISSN号:1000-6281
  • 期刊名称:电子显微学报
  • 时间:0
  • 页码:122-126
  • 语言:中文
  • 分类:TN16[电子电信—物理电子学] TG115.215.3[金属学及工艺—物理冶金;金属学及工艺—金属学]
  • 作者机构:[1]武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室,湖北武汉430072
  • 相关基金:国家自然科学基金重点项目(No.10435060).
  • 相关项目:用加速器-电镜联机装置原位研究离子注入制备Si基稀磁半导体的动态过程
中文摘要:

为建立一套离子注入机和串列加速器一电镜联机装置,对停止运行多年的H-800透射电镜进行了修复,并通过适当改造和防震措施,实现了与离子注入机和串列加速器的联机,可以在离子注入现场原位研究材料微结构的演化过程,为在我国深入开展离子束与固体相互作用的基础和应用研究提供一个强有力的研究手段。本文详细介绍了一台H-800型透射电镜的修复过程和联机技术,及应用该联机电镜所获得的初步实验结果。

英文摘要:

In order to establish an ion planter-accelerator-transmission electron microscope (TEM) link system in China, H800 TEM was successfully repaired, and modified. Effective means were taken to reduce the vibration, and the TEM was successfully linked to an ion planter and a tandem accelerator. The system could be used to study the mierostrueture evolution of the sample during ion implantation, thus provides a powerful tool for the study of interaction between ion beam and the solids. In this paper, the TEM repairing process and interface technique were described in detail, and primary experimental results obtained with the in-situ ion planter- accelerator- TEM was presented.

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  • 曾获《中国科技论文统计源期刊(中国科技核心期刊)》,《中国科学引文数据库(核心库)》来源期刊,中国自然科学核心期刊(无线电电子学、电信技术类...
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