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微机电系统压膜阻尼特性分析
  • ISSN号：1000-3835
  • 期刊名称：《振动与冲击》
  • 时间：0
  • 分类：TP212[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN216[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海200030
  • 相关基金：国家杰出青年基金项目资助（No.10325209）
作者： 张文明[1], 孟光[1], 周健斌[1]
关键词： 微机电系统, 压膜阻尼, 滑流, 穿孔
中文摘要：

微尺度下，压膜阻尼对微机电系统（MEMS）微结构功能特性有很大影响。从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论分析，运用可压缩气膜的雷诺方程对由垂直运动产生压膜阻尼进行模型分析，详细介绍了线性Reynolds方程的多种近似解，建立了热流方程模拟的有限元分析模型，分别针对滑流、挤压和穿孔对气膜阻尼的影响进行了有限元模拟仿真及讨论，并与近似的理论结果进行对比，结果表明：滑流效应对压膜特性影响较大；增大孔径可以减小气膜阻尼和刚度系数，减小压膜阻尼对MEMS微结构的影响。

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期刊信息
  • 《振动与冲击》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国振动工程学会 上海交通大学 上海市振动工程学会
  • 主编：恽伟君
  • 地址：上海市华山路1954号上海交通大学
  • 邮编：200030
  • 邮箱：jvs@sjtu.edu.cn
  • 电话：021-62821366
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-3835
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1316/TU
  • 邮发代号:4-349
  • 获奖情况:
  • 中国科协优秀科技期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:27302