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C2F6、C4F8的双频电容耦合等离子体特性研究
  • ISSN号：1000-2073
  • 期刊名称：苏州大学学报(自然科学版)
  • 时间：0
  • 页码：66-72
  • 相关项目：多频等离子体与硅基软物质的作用研究
作者： 黄宏伟, 钱 侬, 叶 超|
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多频等离子体与硅基软物质的作用研究
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期刊信息
  • 《苏州大学学报：自然科学版》
  • 主管单位:江苏省教育厅
  • 主办单位:苏州大学
  • 主编：郎建平
  • 地址：江苏省苏州市十梓街1号
  • 邮编：215006
  • 邮箱：fangtong@suda.edu.cn
  • 电话：0512-65225985 65225991传
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-2073
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1226/N
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）
  • 被引量:2060