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Influence of Annular Magnet on Discharge Characteristics in Enhanced Glow Discharge Plasma Immersion
  • ISSN号：0003-6951
  • 期刊名称：Applied Physics Letters
  • 时间：2011.1.1
  • 页码：021502-1-021502-3
  • 相关项目：电子聚焦电场增强等离子体离子注入/沉积基本理论研究
作者： L. H. Li, Z. Wang, Q. Y. Lu, E. J. Pang, D. D.|
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