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Transformation of enhanced glow discharge dynamics in nitrogen plasma immersion
  • ISSN号：0093-3813
  • 期刊名称：IEEE Transactions on Plasma Science
  • 时间：2013
  • 页码：553-558
  • 相关项目：电子聚焦电场增强等离子体离子注入/沉积基本理论研究
作者： Qiuyuan Lu, Liuhe Li, Penghui Li, Ruizhen Xu, R|
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