位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
control of cathodic arc spot motion under external magnetic field
  • ISSN号：0042-207X
  • 期刊名称：Vacuum
  • 时间：2013.9.9
  • 页码：20-23
  • 相关项目：电子聚焦电场增强等离子体离子注入/沉积基本理论研究
作者： Liuhe Li, Ying Zhu, Fushun He, Dandan Dun, Fen Li,|
同期刊论文项目
电子聚焦电场增强等离子体离子注入/沉积基本理论研究
期刊论文 11 会议论文 9
同项目期刊论文
Ion focusing in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation of hydrogen and nitrogen i
Influence of Annular Magnet on Discharge Characteristics in Enhanced Glow Discharge Plasma Immersion
磁控溅射技术及其发展
脉冲磁过滤阴极弧技术制备类金刚石薄膜研究
增强辉光放电等离子体离子注入的三维PIC/MC模拟
Transformation of enhanced glow discharge dynamics in nitrogen plasma immersion
Improved hydrogen ionization rate in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation by en
涂层硬质合金刀具切削钛合金仿真研究
多靶磁控溅射系统磁场优化设计
薄膜应力与类金刚石薄膜结合力改善的研究进展