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薄膜应力与类金刚石薄膜结合力改善的研究进展
  • ISSN号：1008-4800
  • 期刊名称：《化工管理》
  • 时间：0
  • 分类：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]北京航空航天大学机械工程及自动化学院
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(11075012)
作者： 马燕飞[1]
关键词： 类金刚石(DLC)薄膜, 残余应力, 结合力
中文摘要：

类金刚石(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数,高化学稳定性等优异性能,作为一种新兴功能材料受到诸多行业的关注。然而DLC生长过程会导致薄膜内部存在很高的残余应力,薄弱的膜基结合强度限制了其在工业上的广泛应用。本文简要介绍了国内外对于薄膜内应力的产生及其控制方面的研究进展,以及DLC膜基结合强度方面的研究现状和发展趋势。

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期刊信息
  • 《化工管理》
  • 主管单位:中国石油和化学联合会
  • 主办单位:中国化工企业管理协会
  • 主编：侯杰
  • 地址：北京市朝阳区小营路19号中国昊华大厦A座8层
  • 邮编：100101
  • 邮箱：cem2005@163.com
  • 电话：010-58650516
  • 国际标准刊号：ISSN：1008-4800
  • 国内统一刊号：ISSN：11-3991/F
  • 邮发代号:82-181
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 中国国家哲学社会科学学术期刊数据库
  • 被引量:9102