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Experimental research on resist filling behavior in microimprint lithography by using defocusing dig
  • ISSN号:0946-7076
  • 期刊名称:Microsystem Technologies
  • 时间:2013.8.8
  • 页码:1229-1238
  • 相关项目:电毛细力驱动的纳米结构压印成形及其流变和界面行为研究
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