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Making modified fluoropolymer molds for ultraviolet nanoimprint lithography
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:2010.9.9
  • 页码:6933-6937
  • 相关项目:电毛细力驱动的纳米结构压印成形及其流变和界面行为研究
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