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Fabrication of high-aspect-ratio microstructures using dielectrophoresis-electrocapillary force-driv
  • ISSN号:0960-1317
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:2011.6.6
  • 页码:1-9
  • 相关项目:电毛细力驱动的纳米结构压印成形及其流变和界面行为研究
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