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不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究
  • ISSN号:1672-7126
  • 期刊名称:真空科学与技术学报
  • 时间:0
  • 页码:504-508
  • 语言:中文
  • 分类:O539[理学—等离子体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料江苏省重点实验室,苏州215006
  • 相关基金:国家自然科学基金项目资助(No.10775103)
  • 相关项目:甚高频阵列式容性耦合等离子体源的放电特性及均匀性研究
作者: 高璇|辛煜|
中文摘要:

等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随着射频输入功率的增加以及激发频率的上升均会导致等离子体功率吸收的增强,从而导致了离子密度增大和电子温度下降。利用了气体追踪法测量感应放电中的气体温度,可以发现,由于电子诱导加热的作用,气体温度随气压和输入功率的增加而增加,射频频率的提高也有助于等离子体气体温度的上升。

英文摘要:

A novel type of the miniaturized inductively coupled plasma source was developed. The impacts of the operating conditions, such as the input power, driven frequency, and gas temperature, on characteristics, including the plasma density,electron temperature and current-voltage curve, were studied with Langmuir probe and optical emission spectroscopy (OES).The results show that the driving frequency significantly affects the properties of the plasma. For instance, as the input power and/or the driving frequency increases, the power absorption of the plasma increases, accompanying with an increasing plasma density and a decreasing electron temperature. Besides, the gas temperature rises up with an increase of gas pressure or input power or driving frequency, possibly because of the electron induced heating.

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期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国真空学会
  • 主编:李德杰
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  • 邮编:100022
  • 邮箱:cvs@chinesevacuum.com
  • 电话:010-58206280
  • 国际标准刊号:ISSN:1672-7126
  • 国内统一刊号:ISSN:11-5177/TB
  • 邮发代号:
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  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:4421