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Effect of Discharge Parameters on Properties of Diamond-Like Carbon Films Prepared by Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma Source
  • ISSN号：1009-0630
  • 期刊名称：《等离子体科学与技术：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：O531[理学—等离子体物理;理学—物理] TG174.444[金属学及工艺—金属表面处理;金属学及工艺—金属学]
  • 作者机构：[1]Jiangsu Key Laboratory of Thin Films, School of Physical Science and Technology Soochow University, Suzhou 215006, China
  • 相关基金：supported by National Natural Science Foundation of China （No. 10775103）
作者： 杨磊[1], 辛煜[1], 徐海鹏[1], 虞一青[1], 宁兆元[1]
关键词： 等离子体源, 类金刚石碳, 电容耦合, 薄膜性能, 放电参数, 薄膜制备, 等离子体增强化学气相沉积, 双频, dual-frequency capacitively coupled discharge, DLC, Raman spectroscopy
中文摘要：

E-mail address of YANG Lei： lyang_19850821@yahoo.com.cn

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期刊信息
  • 《等离子体科学与技术：英文版》
  • 主管单位:中国科学院 中国科协
  • 主办单位:中国科学院等离子体物理研究所 中国力学学会
  • 主编：万元熙、谢纪康
  • 地址：合肥市1126信箱
  • 邮编：230031
  • 邮箱：pst@ipp.ac.cn
  • 电话：0551-5591617 5591388
  • 国际标准刊号：ISSN：1009-0630
  • 国内统一刊号：ISSN：34-1187/TL
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引（扩展库）,英国科学文摘数据库
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