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Investigation of gate-all-around silicon nanowire transistors for ultimately scaled CMOS technology
  • ISSN号:1673-3487
  • 期刊名称:Frontiers of Physics in China
  • 时间:0
  • 页码:414-421
  • 语言:英文
  • 相关项目:集成电路工艺研究(包括CAM)
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