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Effects of rapid thermal annealing on the electrical properties of the AlGaN/AlN/GaN heterostructure
  • ISSN号:0003-6951
  • 期刊名称:Applied Physics Letters
  • 时间:2014.8.25
  • 页码:083501-1-083501-4
  • 相关项目:AlGaN/GaN异质结场效应晶体管中与AlGaN势垒层应变分布相关的载流子散射机制研究
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