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即贴型单层带通FSS的传输特性
  • ISSN号：1004-924X
  • 期刊名称：《光学精密工程》
  • 时间：0
  • 分类：TH128[机械工程—机械设计及理论]
  • 作者机构：[1]北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京100083, [2]中国运载火箭技术研究院五一九厂,山西长治046012
  • 相关基金：国家自然科学基金重点资助项目（90305026）;中国工程物理研究院双百人才基金资助项目（2005R0504）.
作者： 蒙志君[1], 黄俊[1], 武哲[1], 吕明云[1]
关键词： 靶:层板:发汗冷却, target, platelet, transpiration-cooling
中文摘要：

本文以北京天瑞星公司生产的大型TX1800商用磁控溅射镀膜机为例，简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统，引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在此基础上，提出了一种全新的思路，对冷却系统进行了重新设计。

英文摘要：

In this paper, structure of the target and corresponding cooling-system were analyzed briefly based on Beijing Tian Rui Xing company＇s TX1800 magnetron sputtering machine. Then the conception of platelet ＆ transpiration cooling which is used extensively in the field of aerospace was introduced. On this basis, the cooling-system is redesigned,proposing a new improvement thought.

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期刊信息
  • 《光学精密工程》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会
  • 主编：曹健林
  • 地址：长春市东南湖大路3888号
  • 邮编：130033
  • 邮箱：gxjmgc@sina.com；gxjmgc@ciomp.ac.cn
  • 电话：0431-86176855 84613409传
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-924X
  • 国内统一刊号：ISSN：22-1198/TH
  • 邮发代号:12-166
  • 获奖情况:
  • 三次获得“百种中国杰出学术期刊”,2006年获得中国科协择优支持基金,2007年获“吉林省新闻出版精品期刊奖”,2008年获“中国精品科技期刊”,2012年《光学精密工程》看在的3篇论文获得中国百...,第三届中国出版政府奖提名奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
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