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纳米Zn1-xCuxO薄膜的结构及光学性质
  • ISSN号:1003-8213
  • 期刊名称:《微细加工技术》
  • 时间:0
  • 分类:O472[理学—半导体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]苏州大学物理科学与技术学院,江苏苏州215006, [2]苏州大学分析测试中心,江苏苏州215006
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(10275047,10575073)
中文摘要:

采用射频磁控溅射制备了不同Cu掺杂浓度的ZnO薄膜.以X射线衍射、扫描电镜等对薄膜的结构和形貌进行了表征,XRD和SEM测试结果显示Cu掺杂量为5.0at.%时,Zno9,Cu0.05O薄膜呈纳米柱状结构.同时也对薄膜的光致发光(PL)进行了研究.结果表明,406nm的发光峰源于带边自由激子电子的复合,440nm的发光峰则和薄膜中的锌间隙Zni缺陷有关.

英文摘要:

Cu-doped ZnO films were prepared by radio frequency (RF) magnetron sputtering. The structure and morphology of films were studied using X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscope(SEM) while optical properties by photo-luminescence (PL) spectra. XRD and SEM results indicate that ZnO films doped with moderate Cu dopant 5.0 at. % can obtain wurtzite structure with nanorods aligned perpendicularly to the substrate surface. 406 nm and 440 nm peaks due to free exciton recombination and structural defects such as Zn interstitials of films.

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期刊信息
  • 《微细加工技术》
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主编:伍三忠
  • 地址:长沙市第96号信箱301分箱(长沙黑石铺)
  • 邮编:410111
  • 邮箱:
  • 电话:0731-2891478
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-8213
  • 国内统一刊号:ISSN:43-1140/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,国家一级检索刊物用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库
  • 被引量:1695