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树脂结合剂金刚石砂轮精密磨削单晶硅片的磨削力研究
  • ISSN号：1006-852X
  • 期刊名称：《金刚石与磨料磨具工程》
  • 时间：0
  • 分类：TG580.6[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
  • 作者机构：[1]广东工业大学机电工程学院
  • 相关基金：国家自然科学基金项目(NO.U0734008)
作者： 林培勇[1], 魏昕[1], 陈卓[1], 任庆磊[1], 董成祥[1]
关键词： 单晶硅, 磨削力, 金刚石砂轮, 精密磨削
中文摘要：

通过对树脂结合剂金刚石砂轮磨削单晶硅片的轴向磨削力Fz的变化规律的研究,分析了单晶硅片在磨削过程中轴向磨削力与磨削工艺参数之间的关系。通过改变砂轮的轴向进给速度、砂轮线速度和砂轮粒度等工艺参数,找出了这些工艺参数对轴向磨削力Fz的影响规律,并建立了轴向磨削力的经验公式。结果表明:树脂结合剂金刚石精密磨削单晶硅片时,轴向磨削力随着砂轮的轴向进给速度vf和磨粒粒径的增大而增大,随着砂轮线速度vs的增大而减小,且这三个工艺参数中,砂轮轴向进给速度vf对轴向磨削力的影响最大。

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期刊信息
  • 《金刚石与磨料磨具工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:郑州磨料磨具磨削研究所
  • 主办单位:郑州磨料磨具磨削研究所
  • 主编：李志宏
  • 地址：郑州市高新区梧桐街121号
  • 邮编：450001
  • 邮箱：smzzgj@126.com
  • 电话：0371-67661785
  • 国际标准刊号：ISSN：1006-852X
  • 国内统一刊号：ISSN：41-1243/TG
  • 邮发代号:36-34
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技期刊奖三等奖,1999年2000年获河南省优秀科技期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）
  • 被引量:4050