针对时栅角位移传感器以高精度母仪作为基准的传统误差修正方式不适合某些极端应用环境而且修正精度受限于基准母仪的问题,本项申请拟以时栅角位移传感器为研究对象,利用时栅角位移传感器特有的多对极、多测头结构以及误差特性,提出一种基于二次时间基准的时栅角位移传感器误差在线自修正方法。该方法利用精度高而且容易构造的时间量作为传感器误差修正基准,对传感器一个间距内的误差进行等时间误差采样,实现传感器的误差测量。利用时空对偶与时空转换思想,通过误差溯源,将不容易直接修正的空间正交误差项等效转换为容易修正的时间正交误差项,然后统一采用调整电气时间参数的方法从时间量上对误差进行修正。该方案将时栅角位移传感器的一次时间测量基准和二次时间修正基准都统一到时间量,去除了传感器误差修正对高精度基准母仪的依赖,实现时栅角位移传感器的误差在线自修正,突破修正精度受限于基准母仪的瓶颈,进一步拓展时栅角位移传感器的应用范围。
英文主题词time grating displacement sensor;space standard;time standard;error;self-calibration