中文摘要：

微精加工技术是先进制造技术的重要研究方向与热点问题。项目研究将微细电解与超声频振动同步复合，进行微结构加工。研究微电流电解钝化及超声频振动效应消除钝化,从而实现微细电解加工机理；构造试验参数可较大范围调节的超声电解复合加工装置，研制超声频斩波电路，将超声频电信号通过斩波电路调制，控制电源的开、断，实现电解与超声振动（频率20KHz左右）精确同频、同步；研究微细阴极组合电加工制作技术，运用平动、反拷放电，微细线切割等方法制作各种截面尺寸微细阴极，可靠满足试验要求；进行微细超声、微细超声电解、微细超声同步电解等多种方式、多参数比较试验，验证超声复合电解（电压1～5V）在精度、效率及表面质量等方面技术优势，超声复合同步电解同时具有超声、高频脉冲电解技术优点，有最理想的加工精度。设计辅助电极，利用微细电解、电火花复合作用对非导电材料进行微细加工探索性试验。完善微细超声复合电解加工系统设计、优化试验参数，进行微结构的基础试验与应用研究，取得良好应用效果。此方法充分发挥电解离子去除机理优势，同时利用高频脉冲、超声振动对微细电解极间过程的改善及加强作用，可实现高精、高效及低成本微细加工。