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化合物半导体SiC的缺陷性质研究及慢正电子束装置改进
  • 项目名称:化合物半导体SiC的缺陷性质研究及慢正电子束装置改进
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:10175061
  • 申请代码:A050403
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2002-01-01-2004-12-01
  • 项目负责人:翁惠民
  • 负责人职称:教授
  • 依托单位:中国科学技术大学
  • 批准年度:2001
中文摘要:

宽禁带半导体碳化硅等,在发展高频、高温及高功率器件有着诱人的前景,备受重视。对其缺陷与物性关系的研究极为重要。正电子湮没技术恰好是研究缺陷行为的最佳手段。此类研究国内外均为初期工作。本课题用多普勒能谱及改变样品温度研究其缺陷及微结构,处理后变化与制备条件及其物性的联系。慢正电子束装置改进及增加变稳系统使之更适于本研究。

结论摘要:

英文主题词positron;SiC;defect;digital;moderator


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