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Investigation of surface morphology and ion activation of aluminium implanted 4H-SiC
  • ISSN号:1674-7321
  • 期刊名称:SCIENCE CHINA-TECHNOLOGICAL SCIENCES
  • 时间:2012.12.12
  • 页码:3401-3404
  • 相关项目:新型高功率4H-SiC JBS二极管的研究
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