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超薄阳极氧化铝模板的制备
  • ISSN号：1003-8213
  • 期刊名称：微细加工技术
  • 时间：0
  • 页码：12-15
  • 语言：中文
  • 相关项目：绝缘层上SiGe材料的制备及弛豫机理研究
作者： 成步文|
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期刊信息
  • 《微细加工技术》
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主编：伍三忠
  • 地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）
  • 邮编：410111
  • 邮箱：
  • 电话：0731-2891478
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-8213
  • 国内统一刊号：ISSN：43-1140/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,国家一级检索刊物用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库
  • 被引量:1695