Si 衬底上 Ge 材料的 UHVCVD 生长
- ISSN号:1673-2812
- 期刊名称:材料科学与工程学报
- 时间:0
- 页码:118-120
- 语言:中文
- 相关项目:绝缘层上SiGe材料的制备及弛豫机理研究
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期刊信息
- 《材料科学与工程学报》
- 北大核心期刊(2011版)
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- 主编:叶志镇
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- 国际标准刊号:ISSN:1673-2812
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