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用AFM研究Cu在Si基上沉积成核的
  • 期刊名称：真空与低温.12(4).200-203,2006.12
  • 时间：0
  • 相关项目：铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
作者： 李天晶，李公平*
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铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
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