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Cu/SiO2/Si(100)体系中Cu和Si的
  • 期刊名称：真空与低温.12(3).137-141, 2006.09
  • 时间：0
  • 相关项目：铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
作者： 曹博，包良满，李公平*，何山虎
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铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
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