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用AFM研究硅基上沉积铜膜生长过
  • 期刊名称：真空与低温.11(3).159-161,2005.09
  • 时间：0
  • 相关项目：铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
作者： 包良满，曹博，李公平*，何山虎
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铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
期刊论文 22 会议论文 4
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